МегаПредмет

ПОЗНАВАТЕЛЬНОЕ

Сила воли ведет к действию, а позитивные действия формируют позитивное отношение


Как определить диапазон голоса - ваш вокал


Игровые автоматы с быстрым выводом


Как цель узнает о ваших желаниях прежде, чем вы начнете действовать. Как компании прогнозируют привычки и манипулируют ими


Целительная привычка


Как самому избавиться от обидчивости


Противоречивые взгляды на качества, присущие мужчинам


Тренинг уверенности в себе


Вкуснейший "Салат из свеклы с чесноком"


Натюрморт и его изобразительные возможности


Применение, как принимать мумие? Мумие для волос, лица, при переломах, при кровотечении и т.д.


Как научиться брать на себя ответственность


Зачем нужны границы в отношениях с детьми?


Световозвращающие элементы на детской одежде


Как победить свой возраст? Восемь уникальных способов, которые помогут достичь долголетия


Как слышать голос Бога


Классификация ожирения по ИМТ (ВОЗ)


Глава 3. Завет мужчины с женщиной


Оси и плоскости тела человека


Оси и плоскости тела человека - Тело человека состоит из определенных топографических частей и участков, в которых расположены органы, мышцы, сосуды, нервы и т.д.


Отёска стен и прирубка косяков Отёска стен и прирубка косяков - Когда на доме не достаёт окон и дверей, красивое высокое крыльцо ещё только в воображении, приходится подниматься с улицы в дом по трапу.


Дифференциальные уравнения второго порядка (модель рынка с прогнозируемыми ценами) Дифференциальные уравнения второго порядка (модель рынка с прогнозируемыми ценами) - В простых моделях рынка спрос и предложение обычно полагают зависящими только от текущей цены на товар.

Прерывисто контактны режим работы





В бесконтактном режиме кантилевер совершает вынужденные колебания с малой амплитудой порядка 1 нм. При приближении зонда к поверхности на кантилевер начинает действовать дополнительная сила со стороны образца FPS/ При ван-дер-вальсовом а взаимодействии это соответствует области расстояний между зондом и образцом, где действует сила притяжения. Если зонд АСМ находится на расстоянии z0 от поверхности, то для малых колебаний можно записать:

Это приводит к тому, что в правой части уравнения, описывающего колебания в такой системе, появляются дополнительные слагаемые:

Вводя новые переменные: приходим к уравнению:

Т.е. наличие градиента сил приводит к изменению эффективной жесткости системы:

После стандартных преобразований уравнение записывается в следующем виде:

Производя вычисления, аналогичные вычислениям, проведенным для свободного кантилевера, получаем амплитудно-частотную характеристику системы:

И, соответственно, ФЧХ:

Таким образом, наличие градиента силы взаимодействия зонда с поверхностью образца приводит к дополнительному сдвигу АЧХ и ФЧХ системы. Резонансная частота в присутствии внешней силы ωrf может быть представлена в виде

Следовательно, дополнительный сдвиг АЧХ равен

Рисунок 9 – Изменение АЧХ и ФЧХ кантилевера под действием градиента силы

Из выражения (9) также следует, что наличие градиента силы приводит к сдвигу

ФЧХ, так что точка ее перегиба ω* находится на частоте

Пусть кантилевер вдали от поверхности совершает вынужденные колебания на

частоте 0, тогда сдвиг фазы его колебаний составляет π/2. При сближении с

поверхностью фаза колебаний (считаем ) станет равной

Следовательно, дополнительный сдвиг фазы при наличии градиента силы будет равен [35]:

Он определяется производной z-компоненты силы по координате z. Данное обстоятельство используется для получения фазового контраста в АСМ исследованиях поверхности.

Рисунок 10– Выбор рабочей точки при «полуконтактном» режиме работы кантилевера»

Регистрация изменения амплитуды и фазы колебаний кантилевера в бесконтактном режиме требует высокой чувствительности и устойчивости работы обратной связи. На практике чаще используется так называемый "полуконтактный" режим колебаний кантилевера (иногда его называют прерывисто-контактный, а в иностранной литературе - "intermittent contact" или "tapping mode" режимы). При работе в этом режиме возбуждаются вынужденные колебания кантилевера вблизи резонанса с амплитудой порядка 10 – 100 нм. Кантилевер подводится к поверхности так, чтобы в нижнем полупериоде колебаний происходило касание поверхности образца (это соответствует области отталкивания на графике зависимости силы от расстояния (рис. 82)).

При сканировании образца регистрируется изменение амплитуды и фазы колебаний кантилевера. Взаимодействие кантилевера с поверхностью в "полуконтактном" режиме состоит из ван-дер-ваальсового взаимодействия, к которому в момент касания добавляется упругая сила, действующая на кантилевер со стороны поверхности. Если обозначить через z0 расстояние между положением равновесия колеблющегося кантилевера и поверхностью, а через )) - комбинированную силу, то уравнение движения кантилевера можно записать в следующем виде:



где координата z отсчитывается от поверхности. Заметим, что "полуконтактный" режим реализуется только тогда, когда расстояние z0 меньше амплитуды колебаний кантилевера:

Теория "полуконтактного" режима значительно сложнее теории бесконтактного режима, поскольку в этом случае уравнение, описывающее движение кантилевера, существенно нелинейно. Сила )) еперь не может быть разложена в ряд по малым z. Однако характерные особенности данного режима сходны с особенностями бесконтактного режима - амплитуда и фаза колебаний кантилевера зависят от степени

взаимодействия поверхности и зонда в нижней точке колебаний кантилевера. Поскольку в нижней точке колебаний зонд механически взаимодействует с поверхностью, то на изменение амплитуды и фазы колебаний кантилевера в этом режиме существенное влияние оказывает локальная жесткость поверхности образцов.

Сдвиг по фазе между колебаниями возбуждающего пьезоэлектрического вибратора и установившимися колебаниями кантилевера можно оценить, если рассмотреть процесс диссипации энергии при взаимодействии зонда с образцом [36-38]. При установившихся колебаниях энергия, приходящая в систему, в точности равна энергии, рассеиваемой системой. Энергия, поступающая в систему от пьезовибратора за период колебаний:

Она расходуется на восполнение потерь при взаимодействии кантилевера с атмосферой и образцом. Энергию EPA

рассеиваемую в атмосферу за период, можно вычислить следующим образом:

Энергия EPS идущая на восполнение потерь при диссипативном взаимодействии зонда с образцом, равна:

Из условия баланса следует:

Предполагая, что установившиеся колебания кантилевера имеют вид , получаем:

Отсюда для фазового сдвига получается следующее выражение:

Таким образом, фазовый сдвиг колебаний кантилевера в "полуконтактном" режиме определяется энергией диссипативного взаимодействия зонда с поверхностью образца.

Формирование АСМ изображения поверхности в режиме колебаний кантилевера происходит следующим образом. С помощью пьезовибратора возбуждаются колебания кантилевера на частоте ω (близкой к резонансной частоте кантилевера) с амплитудой

Аω. При сканировании система обратной связи АСМ поддерживает постоянной амплитуду колебаний кантилевера на уровне A0 , задаваемом оператором (A0 < Аω).

Напряжение в петле обратной связи (на z-электроде сканера) записывается в память компьютера в качестве АСМ изображения рельефа поверхности. Одновременно при

сканировании образца в каждой точке регистрируется изменение фазы колебаний кантилевера, которое записывается в виде распределения фазового контраста.

На рис. 83, в качестве примера, приведены АСМ изображения участка пленки полиэтилена, полученные в "полуконтактном" режиме (амплитудный и фазовый контраст).

Рисунок 11 – АСМ изображение участка поверхности пленки полиэтилена полученные в «полуконтактном» режиме: а – рельеф поверхности, полученные в режиме постоянной амплитуды; б – соответствующее распределение фазового контраста

 


Практическая часть

 

Рисунок 12 – Внешний вид АСМ Интегра Прима

 

 

Рисунок 12 – Внешний вид сканера АСМ Интегра Прима

 

 

Рисунок 8 – Формирование АСМ изображения при расстоянии между зондовым датчиком и образцом

 

 

Рисунок 13 – Внешний вид крепления сканера АСМ Интегра Прима

 

Рисунок 14 – Внешний вид АСМ ступеньки полученной на АСМ Интегра Прима

 

Рисунок 15 – Измеренный профиль ступеньки полученный на АСМ Интегра Прима Анализ результатов Пленка NbN. Толщина напыления. Контактный метод измерения. Результирующий профиль при усреднении 128 измерений. Высота ступеньки составляет 6,87±0,3 нм Полуконтактный метод измерения Результирующий профиль при усреднении 128 измерений. Высота ступеньки составляет 20,5±0,3 нм     Поиск объекта измерения – чувствительной части фотодетектора.     Измрение геометрических характеристик фотодатчика. В первом столбце – номер линии Во втором – разность высот между начальной и конечной точкой линии N N Δz [nm] 1 7,7 2 7,7 3 65,9 4 12,3 5 140,3 6 215,0 7 231,4 8 141,3  

Выводы

 

Литература

1. G.Binnig, C.F.Quate, Ch.Gerber – Atomic force microscope. // Phys. Rev. Lett., v. 56, № 9, p. 930 – 933 (1986).

 


 

 





©2015 www.megapredmet.ru Все права принадлежат авторам размещенных материалов.